東北大學巴德純教授課題組與中科院沈陽科學儀器股份有限公司成功研制出干式真空泵的消息不脛而走，立即吸引來眾多**企業前來洽談合作。短短幾年間，產品已經在北方微電子、北京中科信、湖南紅太陽、上海中芯國際等國內重點用戶的集成電路生產線上成功應用，得到了企業的廣泛好評。產品的應用為企業帶來了可觀的經濟效益，近年來新增利潤累計1.003億元，新增稅收0.153億元，增收節支總額1.493億元。
2015年以 清華大學 賈培發教授為主(zhu)任，眾多技(ji)術專家為組(zu)員的驗收委(wei)員會一致認為，項目“完成(cheng)轉子型(xing)線(xian)分(fen)(fen)析(xi)、優(you)化設(she)計(ji)和泵內流(liu)場理論(lun)分(fen)(fen)析(xi)，并搭(da)建(jian)了(le)干泵的設(she)計(ji)平臺(tai)（理論(lun)部分(fen)(fen)），指導干泵的設(she)計(ji)”，達(da)到(dao)了(le)******。
零(ling)事故(gu)高(gao)效研發，為中(zhong)國制造保駕護航
2013年底，東北大(da)學與中科(ke)院(yuan)沈陽科(ke)學儀器(qi)股份(fen)有限(xian)公(gong)司(si)組成(cheng)工(gong)藝(yi)測(ce)試(shi)團(tuan)隊，與中科(ke)院(yuan)微(wei)電子企業(ye)進行(xing)刻蝕機真空(kong)裝備項(xiang)目合作。真空(kong)泵(beng)開始工(gong)作不(bu)久，現場團(tuan)隊成(cheng)員發現真空(kong)泵(beng)工(gong)作**，效(xiao)率低(di)下。巴德純教授根據(ju)故(gu)障現象，判斷是刻蝕出來的氣體揮發物在(zai)(zai)泵(beng)內壓(ya)縮時很快凝結(jie)成(cheng)顆粒，附著在(zai)(zai)真空(kong)泵(beng)轉子上，阻礙機器(qi)正常運(yun)轉。根據(ju)這一判斷，工(gong)作人員對冷卻方(fang)式進行(xing)了智能調節，避免(mian)過(guo)低(di)的冷卻溫(wen)度(du)，在(zai)(zai)氣體凝固前將其(qi)抽出，保證了真空(kong)干泵(beng)的高效(xiao)運(yun)行(xing)和刻蝕機的正常運(yun)轉。
真(zhen)空泵(beng)的(de)試驗需要(yao)在(zai)企業加工生(sheng)產線上不停機進行，一旦出(chu)現意外(wai)將造成重大的(de)生(sheng)產事(shi)故。東北大學巴德純(chun)教授研(yan)究(jiu)真(zhen)空泵(beng)30余(yu)年，在(zai)各種(zhong)生(sheng)產線上進行了上千次的(de)實驗測試，憑借課(ke)題組(zu)對(dui)不同生(sheng)產環境的(de)有效預判，對(dui)相應的(de)溫(wen)度場(chang)和流(liu)場(chang)的(de)準確測量，從沒有出(chu)現一次生(sheng)產意外(wai)，以(yi)零事(shi)故研(yan)發為東北大學贏(ying)得了良好的(de)聲(sheng)譽。
經(jing)過東北大(da)(da)學的理(li)論設(she)計、中(zhong)科(ke)院(yuan)沈(shen)陽科(ke)學儀器股份有限公司的產業(ye)(ye)化開(kai)發的JGH系列(lie)的真空泵(beng)(beng)投(tou)入市場后，受到企(qi)業(ye)(ye)的青睞，對國(guo)外(wai)相關設(she)備(bei)形成沖擊(ji)。國(guo)外(wai)企(qi)業(ye)(ye)立即大(da)(da)幅度調(diao)低(di)(di)了(le)(le)某種(zhong)型號(hao)真空泵(beng)(beng)的售價，單臺(tai)價格從30余萬(wan)元(yuan)直(zhi)接降(jiang)低(di)(di)到15萬(wan)元(yuan)。2014年起，干(gan)式真空泵(beng)(beng)又在東北制(zhi)(zhi)藥、同聯藥業(ye)(ye)等知名制(zhi)(zhi)藥企(qi)業(ye)(ye)成功開(kai)始(shi)應(ying)用。與制(zhi)(zhi)藥企(qi)業(ye)(ye)采用傳統水(shui)環(huan)泵(beng)(beng)相比(bi)，采用干(gan)式真空泵(beng)(beng)只需(xu)要很(hen)少(shao)的能耗，對環(huan)境無污染，而(er)且可以對低(di)(di)沸(fei)溶媒實(shi)現98%以上的有效(xiao)泵(beng)(beng)后回收，實(shi)現環(huan)境友好的生產工藝，達到了(le)(le)節(jie)能減(jian)排的效(xiao)果，取得了(le)(le)巨(ju)大(da)(da)的經(jing)濟效(xiao)益(yi)和社會效(xiao)益(yi)。

巴德(de)純(chun)自(zi)信(xin)地(di)表示：“中國制(zhi)(zhi)(zhi)造2025將智能(neng)制(zhi)(zhi)(zhi)造作為主(zhu)攻(gong)方(fang)(fang)向，真(zhen)空泵產品正(zheng)是這一(yi)方(fang)(fang)向**制(zhi)(zhi)(zhi)造業發展的重要關鍵(jian)零部(bu)件(jian)。東北大學將逐步形(xing)成關鍵(jian)制(zhi)(zhi)(zhi)造裝(zhuang)備供貨(huo)能(neng)力(li)，為中國的**制(zhi)(zhi)(zhi)造業保駕護航。”